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高精度PPB級痕量氧分析儀—GPR-1600UHP
應用領域：半導體行業(yè)。
簡述
GPR-1600UHB系列痕量氧分析儀采用最新的Pico-lon技術燃料電池，具有分辨率高，長期漂移小，壽命長，響應和恢復時間快，勿需維護等優(yōu)點。開創(chuàng)了電化學燃料電池測量PPB級痕量氧的新時代。
技術參數(shù)
原 理：Pico-lon技術電化學傳感器。
量 程：0 ~ 100ppb，0 ~ 1/10/100ppm O2自動/手動調(diào)節(jié)。
準確度：量程的2%（在常溫，常壓下）。
分辨率：量程的0.1%。
傳感器壽命：18個月（在100ppm下）。
線性度：R平方值>0.995。
校準氣：建議采用800ppb O2 in N2標準氣。
響應時間：60秒達到90%。
回復時間：15分鐘從9ppm（1分鐘）到10ppb。
體 積：臺式13.9" x 9.9" x 13.4" 。
GPR-1600UHP
電器特征
認 證：ISO9001，CE認證。
顯 示：大屏幕LCD顯示，實時顯示樣氣壓力和溫度。
控制鍵：帶有四個防水按鍵，可方便地選擇量程、校準、報警和系統(tǒng)設置功能。
智能性：量程自動切換功能，數(shù)據(jù)自動存儲功能和圖形顯示，通過USB遠端控制。
溫漂抑制：帶恒溫控制系統(tǒng)、自動壓力和溫度補償功能。
輸 出：USB數(shù)字接口，0~1V或隔離的4~20mA模擬輸出，量程提示輸出。
報 警：兩路繼電器報警輸出，電源失敗報警輸出，傳感器失敗報警輸出。
電 源：220 V AC@50Hz。
操作條件
測量介質：H--2、He、惰性氣體等。
壓 力：10 ~ 100psig。
溫 度：5 ~ +45℃。
流 量：1 ~ 3 SCFH，推薦：2 SCFH((約1升/每分鐘)。
樣氣系統(tǒng)
壓力調(diào)節(jié)閥，流量控制閥和流量計，快速吹掃旁路系統(tǒng)。進氣口采用1/4"VCR接頭，出氣口采用1/4”卡套接頭。
選件
—面板安裝，壁掛安裝，19”支架安裝。
—其它量程：0 ~ 50/500ppb, 0 ~ 5/50ppm O2。
—“零”氣組件。
—氣動閥旁路系統(tǒng)。
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